Die Stofftücher bestehen aus den superleichten hydratisierten durchschlungenen Polyesterfasern. Sie werden für die Reinigung der bei der Photolithographie verwendeten optischen Geräte, Laborausstattungen und anderer Präzisionsinstrumente verwendet.
Eigenschaften
Größe: 100 × 100 mm
Fuselfrei
Sie sind für die Verwendung in den sauberen Räumen der Klasse 100 geeignet
Angaben
Parameter |
Angabe |
Dichtigkeit, g/m2 |
72,4 |
mittlere Dicke, mm |
0,56 |
Zugfestigkeit, kgf/сm2 |
0,28 |
Durchdrückprüfung nach Mullen (mit der Luft), kgf/сm2 |
3,52 |
Cut-off, m3/ ft2 |
8,2 |
Eigene Absorbierbarkeit, ml/g |
4,6 |
Verunreinigungsabsorbierbarkeit, mk/m2 |
332,8 |
Oberflächenwiderstand, Оhm/сm2 |
1010 |
Nichtflüchtige Reste (nach IES-RP-CC004.2, Section 6.1.1), g/m2 |
|
Entionisiertes Wasser |
0,162 |
Isopropanol |
0,128 |
1,1,1-Trichloräthan |
0,14 |
Gesamtzahl von Halogene, ppm |
220 |
Schwefel, ppm |
< 10 |
Generierung der Kornpartikel (IES-RP-CC004.2, Section 5.1) |
|
Partikelzahl (> 0,5 mikrometer/m2), Mio Stk. |
15,4 |
Technisches Datenblatt (Englisch)
Bestellangaben
Katalognummer |
Anzahl, Stk. |
Abgabenform |
828-4X4 |
100 (100 × 100 mm) |
Stofftücher |